近期，浙江大学台州研究院光电所“石英晶片研磨在线测频系统”项目在“2022年‘智惠常熟 共创未来’苏州·常熟全国创新创业大赛——浙江大学专场赛”中荣获二等奖。该项目曾获2018年台州市装备制造业重点领域首台（套）产品。

01行业分析

超高精度平面研磨（抛光）技术是制造业中的先进基础工艺，是光学玻璃晶片、蓝宝石衬底、石英晶片、硅片、褚片、模具、导光板、光扦接头等精密基础零部件加工的关键核心技术和产业化技术瓶颈，已经被广泛应用到机械、电子信息、汽车、家电等军用和民用工业中。

石英晶振在电子产品中作为标准频率源或者脉冲信号源，提供频率基准，是芯片中重要的辅助器件。其中，石英晶片是晶振的核心元器件。

02项目介绍

传统的研磨控制器，控制精度较低，多盘研磨时各盘中心频率离散较大。针对这一情况，光电所团队研发了石英晶片研磨在线测频系统（OLAM）。OLAM实现了研磨过程中频率的在线精密测量，真正做到停机就可收料，实现更少的作业员管理更多的研磨机，而且高频表现比传统方法更为稳定。OLAM特有的“研磨车间组网”系统，可连接MES系统，通过网络对生产数据进行记录、管控和分析。

本项目依托浙江大学的人才优势，以浙江大学台州研究院光电所为基础，组建了包括机械、电子、自动控制、计算机软件、工业设计等多个相关学科的专业人员团队，具有丰富的自动化设备的协同研发经验和工程经验。

目前，OLAM已在日本大真空（KDS）、爱普生精密电子（EPSON）、台湾晶技（TXC）等世界一流石英晶片厂家使用，服务国内外企业10余家，累计销售300余台。该项目已累计授权发明专利23件。

03产业化路线

下阶段，光电所将继续深入研究OLAM及其升级产品——OLAM_F12(抛光)和OLAM_F13（SC），推动解决晶片行业痛点。目前，OLAM_F12(抛光)已在台晶宁波厂进行验证，预计明年6月前进入商用阶段。OLAM_F13（SC）已在晶片厂家现场通过测试，高精度、输出稳定的SC晶片，主要用于基站等高精度时钟要求场景，填补了全球SC切晶片在线测频仪的技术空白。