对石英晶片进行抛光研磨可以提高石英晶片的频率稳定性、温频特性、功耗等物理性能，是石英晶片生产厂家的常见工艺。目前对石英晶片抛光研磨的管控方法主要通过计圈方法，由于研磨机配重、砂液、转速、载具等的影响，计圈方法无法使晶片在设定频率值准确停机，经常出现超频和未到频率的情况，因此各晶片生产厂家迫切需要能实现抛光研磨在线测频设备进行研磨测频，从而实现抛光研磨过程的精准停机管控。

我院光电所团队针对晶片抛光研磨的需求，设计实现了石英晶片抛光研磨在线测频仪OLAM_F12，通过在合作晶片生产厂家的多次现场测试，目前已可实现15MHz到23MHz的稳定跟踪测频和准确停机管控。接下来，团队将进一步测试高频石英晶片的抛光研磨，并进行OLAM_F12 抛光片测频的稳定性、准确性测试，尽快实现OLAM_F12的产业化。